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日本LINTEC(琳得科)汽化器 的典型型號(hào)及技術(shù)介紹,適用于半導(dǎo)體、電子封裝等領(lǐng)域的精密涂布工藝:
型號(hào):VEC-2000
用途:液態(tài)材料(光刻膠、溶劑)的汽化沉積
技術(shù)參數(shù):
汽化溫度范圍:50~300℃(±0.5℃控溫)
最大流量:2000cc/min
適用材料粘度:1-1000cP
優(yōu)勢(shì):
? 均勻汽化,膜厚偏差<±3%
? 模塊化設(shè)計(jì),支持快速換料
型號(hào):VEC-3000P
用途:半導(dǎo)體晶圓級(jí)封裝(如PI膠、SiO?前驅(qū)體)
技術(shù)參數(shù):
汽化精度:±0.1mg/min
支持惰性氣體保護(hù)(N?/Ar)
集成式過(guò)濾器(防顆粒污染)
優(yōu)勢(shì):
? 適用于高純度工藝(Class 100潔凈環(huán)境)
? 符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)
領(lǐng)域 | 應(yīng)用案例 | 適配型號(hào) |
---|---|---|
半導(dǎo)體封裝 | 晶圓凸點(diǎn)封裝(Underfill) | VEC-3000P |
顯示面板 | OLED薄膜封裝 | VEC-2000 |
光伏 | 太陽(yáng)能電池鈍化層沉積 | VEC-2000 |
無(wú)氣泡汽化:專(zhuān)的利渦流加熱技術(shù),避免材料分解
智能控制:觸摸屏設(shè)定參數(shù),自動(dòng)記錄工藝數(shù)據(jù)
安全設(shè)計(jì):過(guò)溫/過(guò)壓保護(hù),通過(guò)CE/JIS認(rèn)證
基礎(chǔ)工藝:VEC-2000(性?xún)r(jià)比高)
高純環(huán)境:VEC-3000P(超低顆粒釋放)